綠碳化硅制造方法同黑色碳化硅，但采用的原材料純度要求較高，也在電阻爐中2200°C左右的高溫下形成，綠色，呈半透明狀，六方晶形，其Sic含量較黑色為高，物理性能與黑色碳化硅相近，但性能略較黑色為脆，也具有較好的導(dǎo)熱性與半導(dǎo)體特性。

 
    綠碳化硅微粉是指在#280到#2500的料，型號(hào)越小，粒度相比較較粗，比如說(shuō)#1200的中值在9.5左右，#1000的中值在11左右，新材料綠碳化硅生產(chǎn)工藝流程如下：
 
    (1)取碳化硅原料，經(jīng)破碎機(jī)中碎，并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒，再用整形機(jī)對(duì)其進(jìn)行整形至不大于2mm的碳化硅顆粒，且其中橢圓形顆粒占80%以上，再對(duì)其進(jìn)行酸洗除雜，干燥;
 
    (2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機(jī)粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎時(shí)，磨粉機(jī)主機(jī)電流設(shè)定為65-75A，風(fēng)機(jī)流量設(shè)定為40-50m3/min，分析機(jī)轉(zhuǎn)速為400--600轉(zhuǎn)/分;
 
    (3)然后用渦流式氣流分級(jí)機(jī)對(duì)碳化硅粉進(jìn)行分級(jí)，分級(jí)時(shí)，渦流式氣流分級(jí)機(jī)的風(fēng)機(jī)流量為25-43m3/min，分級(jí)輪轉(zhuǎn)速為2600--3300轉(zhuǎn)/分，從分級(jí)口分出粒度ds94=6.5-5.5μm的成品A，旋風(fēng)口分出ds94≤5.5μm的半成品。